加工定制:是 | 种类:化合物半导体 | 特性:很宽的膜厚范围 |
用途:正/负反转 lift-off工艺 |
现在市面上出现了新型的LED光源,这种光源的结构中,使用柔性基板代替陶瓷基板作为倒装芯片的支撑,见图5。这种结构中,最主要的是用聚酰亚胺(Polyimide)等材料代替陶瓷作为支撑,用铜片作为导电和导热的材料。
倒装芯片通过共晶焊接与柔性基板的铜片相连接,***经过喷粉、Molding、切割、测试包装等相同工序,则得到最终的与陶瓷基光源相同的光源。
图5 柔性基板光源示意图
由于与倒装芯片接触的为金(或银),与陶瓷基相同,所以倒装芯片上并不需要做任何改变,而且能***焊接的性能不变。基板上部的金属透过通孔的铜与下部的焊盘进行连接,***了热量直接在金属中进行传导,保持***的导热性能。
但柔性基板也有其缺点。一是柔性基板太软,需要对制作流程中的工艺进行修改,目前还没有成熟的匹配工艺;二是受限于其结构,光源焊盘既是电性通道也是散热通道,不能够做到热电分离。这样会对灯具厂商提出一些灯具设计的额外要求。
现在国内外很多公司已经投入大量人力物力进行柔性基板的研发,其优势的价格比陶瓷基板便宜,但目前基板和封装工艺都还不成熟,预计不久的将来会有倒装柔性基板产品推出。
主要产品范围 :
1、 液晶面板(TFT)正型光刻胶
2、 触摸屏(Touch Panl)正型光刻胶,超黑矩阵(BM)黑胶,OC光刻胶,卷对卷(Roll to Roll)工艺光刻胶,柔性性路板光刻胶,FPC工艺用正胶
3、 倒装(Bumping)工艺光刻胶:适用于电镀铜(ECP)工艺,凸点下金属(UBM)工艺;重布线层(RDL)工艺;影像感测器封装(Copper/Au Piller bump)工艺光
4、 LED行业:台阶刻蚀(MESA)工艺正胶,蒸镀(Lift-off)工艺负胶,透明电极(TCL)工艺正胶,电流阻挡层(BCL)工艺正胶,钝化层(PV)工艺正胶,高压芯芯片(HV)工艺正胶。
5、 手机盖板行业:3D喷涂曝光型光阻油墨(黑白色),喷涂曝光纹理光阻油墨,喷涂曝光抗氢氟酸光阻油墨,水性防爆胶,变色光阻油墨;
6、 铜制程工艺:铜制程表面处理剂,铜腐蚀液,不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去胶液
7、 其它配套试剂:高纯低杂质显影液,不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去胶液, 不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去腊液,洗边剂(EBR),不伤铝二氧化硅腐蚀液(BOE),光刻胶稀释剂,氧化铟锡(ITO)腐蚀液,SiO2抛光液,钻石抛光液,SiO2抛光清洗剂(不伤铝);
8、 其它配件:MOCVD外延设备配件(石英配件,钨钼配件,加热器,周边设备配套);刻蚀机和蒸发台等设备配件;
9、 生产制程辅助工具和材料:Tray盘,花篮,膜,针等